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適用于 Ni、Cr、W、Ti、Al 等各種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)
特征
直流濺射類系列中最小的超緊湊型號(hào)
配備皮拉尼真空計(jì),確保成膜條件的再現(xiàn)性
標(biāo)配手動(dòng)快門(mén)
TS 之間的距離可以通過(guò)專用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)輕松改變。
由于它可以鍍上鎢,因此它也可以用于制備高分辨率 SEM 的樣品。
應(yīng)用/結(jié)果示例
適用于各種設(shè)備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等
桌面快速涂布機(jī)SC-701MkⅡ ADVANCE
基本規(guī)格
陰極 | φ2寸直流磁控管/平板型電極 |
適用對(duì)象 | Au / Pt / Au-Pd / Pt-Pd / Ag / Pd / W / Ni / Mo / Cr / Ti / Al |
壓力測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì) |
壓力控制 | 針閥手動(dòng)控制 引入直徑 外徑 φ6mm 一鍵式接頭 |
工藝氣體 | 氬氣 |
真空泵 | 直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵:20L/min(帶自動(dòng)漏液) |
腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ90×D90mm(SUS制) |
樣品交換方式 | 前門(mén)開(kāi)閉式 |
尺寸(寬/深/高) | 機(jī)身:160/450 / 290mm RP:295.5 / 156 / 199.5mm |
重量 | 身體:9 公斤 反相:9 公斤 |